只不过当时包括英特尔、台积电、三星等都不看好EUV。
英特尔虽然认购了15%,但其中10%针对18寸晶圆光刻,只有5%是对EUV的投资。
台积电认购了5%,三星想了半天只认购了3%,放弃了2%。
大约在2015年时,两年半锁定期一到,台积电便急忙卖掉了持有的ASML全部股份,因为EUV还是个技术难度非常大的‘幻梦’。
由于18寸晶圆的难产,英特尔对此投资兴趣也索然,随后它每2~3年减持一半,最后也全部卖光。
三星对EUV最不看好,所以投资最晚认购也最少,哪怕是在2016年时,仍然选择减持一半。
所以,在2010年这个时间点,目前全世界光刻领域的精力还是集中在DUV(深紫外)上的各种探索。
包括想办法进行沉浸式光刻、多重曝光等等,因为原先DUV极限只能支撑90nm制程的光刻。
如果是2020年,很多人也一定听过包括哈工大在内的部分学校用不了MATLAB。
如果是2020年,很多人也一定听过层出不穷的禁令。
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