更包括中科、军科、工程三院各下属研究所，比如长光所等。

        还包括哈工大前沿院的十几个交叉研究中心。

        其次，前沿出面，面向海外收购相关企业、技术、专利授权形成第二道技术链。

        包括光源制造、电子束测量、光学镜头等等等等。

        当然，其中DUV光刻也会有一定量的技术受益。

        EUV面向未来，DUV面向当下。

        梼杌负责allinEUV，DUV由白泽负责用‘小鞭子’来推动原本就有的单位继续演进。

        双管齐下。

        齐活儿。

        制造出来的DUV设备没人敢试用？比不上国外成熟产品？没有足够的反馈无法迭代升级稳定产出？

        不用担心，有庐州前沿的晶圆测试线！

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