庐州前沿的12寸晶圆测试线厂房已经在验收阶段了,方年直接表示让那个科研单位明天就装箱发货。
这玩意不定要多久才能安装调试好。
反正据可靠消息,ASML的那台EUV研发用样机现在都没用上,还在安装调试中。
换句话说EUV光刻机安装调试周期基本要超过一年时间。
倒是90nm落后工艺制程的DUV应该能缩短不少时间。
因为EUV光刻的安装调试周期之长,方年才会着急忙慌计划在不到三个月的时间里单独让梼杌就花掉10个亿美元。
这还不算其它相关研发单位将陆陆续续出资的研发经费。
按照ASML的发展历程,乐观估计,梼杌牵头,众多科研单位合力,上微电总成的第一台EUV研发样机能在2014年底下来。
不过……
也有可能大幅提前。
因为相较于ASML的后知后觉,从2012年中开发起联合投资计划募资,认为后续需要每年投入10亿欧研发经费,以及更后续发起的‘moremoore’合作研发项目;
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