还剩两个,直流电弧等离子喷射CVD法和微波等离子体CVD法。
直流电弧等离子喷射CVD法,也叫DAPCVD法。
这是一种放电区内隐的直流电弧等离子体沉积法。
这种方法的优点就是,有极快的沉积速度。
是极快,不是一般的快!
在上世纪90年代的时候,就有实验室利用阴阳极呈直角的反应器实现了930mh的高速生长。
这可是930mh,不是930μmh!
而且,就算是930μmh,那也是远高于现在四十三所制备金刚石薄膜的40μmh的。
更不要930mh了。
相比之下,一个的速度就是火箭,另一个则是自行车。
或许连自行车都算不上。
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