但有些东西还是会有要求的，比如光源质量。

        9点整，实验准备开始，孟谦则继续翻看徐国华的笔记本。

        徐国华的笔记本上记录的不仅仅只是他的经历，他之所以跟孟谦说看看自己的笔记本能不能帮到自己，是因为上面还记录着他这么多年的技术积累。

        就比如他参与到公司光刻机项目之后之后...

        “2001年9月19

        提升光刻机分辨率的方法有三个。。缩短波长，增加数值孔径，减小K1因子。前段时间，江大带来的浸没式光刻机概念，可以大大提升折率，从而增加数值孔径。

        为了更好的配合全新的浸没式光刻机概念，我们与长光所合作，在激光器上实现了巨大突破。

        我们研发了一种高功率193nm准分子激光器，使用氟气、氩气以及氦气混合气体作为工作介质，可输出ArF最大脉冲激光能量424毫焦耳，总功率基本稳定在1%。激光器由内径8.4cm的玻璃钢圆筒做成，总长94cm。

        电极采用张氏均匀场型面电极，电极有效平取宽5mm，电极长80cm，两电极之间距离2.1cm。”

        此时的长实验室。

        “王院士，供电系统已经准备完毕。”

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