其中的关键光源技术，深紫外线使用的是准分子激光，跟下一代极紫外线光源相互的关联很少！

        而且准分子激光技术应用很广泛，此项技术不止美国一家掌握，想绕过美国相对简单，相比之下极紫外线光源技术就比较妖孽了。

        后世阿斯麦的极紫外线光刻机，使用的光源是采用激光持续轰击锡滴。

        由于极紫外线只占锡滴发出的光很少一部分，大约只有百分之几，因此要使用足够强的激光轰击锡滴，才能发出足够强的光——至少得是3万瓦以上，而且还得持续不停的输出。

        大功率的激光，持续不断的准确命中锡滴，每一项都是要命的技术。

        在镜头上，极紫外线也与深紫外线有很大不同，极紫外线非常容易被吸收，深紫外线使用的透镜式镜头已经不能使用了，因为镜头会直接把极紫外线光线吸收掉，因此使用反射式镜头。

        由于极紫外线的波长只有十几个纳米，深紫外线使用的纳米极精度，人工打磨镜头的技术也不能用了。

        极紫外线用的反射式镜头，精度必须达到皮米级。

        而且由于反射式镜头是一个不规则的椭球体——光源位于椭球体其中一个圆心，使用人工打磨，已经不可能。

        必须要用等离子自动抛光设备，这东西中国没有，国外也买不来，只能自己造。

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