倪院士苦笑着解释:“工业方面,美国对华夏方面限制很严重。。但是学术方面,他们也要彰显自己全球领导者的气度嘛!
更何况,目前最先进的193nm光源波长的光刻机,技术原理我们都懂,关键是我们的工艺不能支撑起这项技术的实现。”
光刻机被誉为“人类工业皇冠上的明珠”。有人这样形容光刻机:这是一种集合了数学、光学、流体力学、高分子物理与化学、表面物理与化学、精密仪器、机械、自动化、软件、图像识别领域顶尖技术的产物。
先进的光刻机上有10w个零件,而一辆汽车上大概是20000个零件。考虑到零件精度,算了,不说了!
以最先进的ASML极紫外光EUV光刻机为例,在这台尖端光刻机上会看到全世界各国顶尖技术的荟萃:德国提供蔡司镜头技术设备,RB提供特殊复合材料,瑞典的工业精密机床技术,美国提供控制软件、电源……
可以说任何一国都不具备光刻机所要求的全部顶尖技术。世界上每一个国家都不能依靠自己制造出先进的光刻机,现在的高端光刻机是许多个国家共同合作的结果。
从这个角度考虑,光刻机真的比氢弹难搞。
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