倪院士笑道：“懂，绝对不让你为难，这次来主要是激光器输出功率，重复频率，能量，离轴照明，相移掩模等十三个小项目的合作研发，罗所长，没问题吧。”

        下面涉及到的人脸色激动，有钱啦，终于有钱啦。实话说。。科研人员真的是旱的旱死，涝的涝死，缺少科研经费的科学家不在少数。

        而大秦科技只要技术和专利，学术成果和论文是他们的，这可是为他们科研地位添砖加瓦的大好事。

        光刻机的构造，一般分为：照明系统（光源+产生均匀光的光路），工作台系统，镜头组，搬送系统，校准系统。另外半导体光刻机的工作温度必须保持在23度，所以要保证晶圆在恒温和无尘的环境。

        光刻机的原理就是用光来投射到工作台上产生衍射，然后镜头收集到光汇聚到晶圆上，形成图形，所以光是产生图形的必要条件。

        准分子激光器扫描步进投影光刻机最关键的三项技术指标是：光刻分辨率、套刻精度和产能。

        光刻分辨率和套刻精度这里先不表，提高产能则是光刻机实现产业化的必要条件。为了提高生产效率，必须优化设计激光器输出功率、重复频率、能量控制、同步扫描等各个技术环节。倪院士与光电技术研究所的项目，就是提高产能和工艺方面的的十几个小模块。由于大秦科技把光刻机，蚀刻机等项目分解成上千个子项目，所以合作的各个研究所都分得了一些合适的项目。

        这也算是一种另类的举国之力，大秦科技除了研发几个核心模块，统筹协调之外，剩余的工作就是砸研发资金了。

        如此一来，既与各个科研单位互惠互利，保持了良好的关系，又加快了半导体设备的研发速度，一举两得。

        别看罗所长别别扭扭的，他对于倪院士的到来可谓满心欢喜，就是心中有些羡慕嫉妒罢了。

        罗所长扭头瞅了下面的科研人员一眼，“行吧。还是按照长光所那边的规矩？”

  The content is not finished, continue reading on the next page