“你是怪我不请自来？还是说我擅闯你的办公室！”黄昶一瞪眼，“这三位分别是胡博实老师，陆弘伟老师，邱飞捷老师。”

        李云野恭敬地一一致礼问好，才在沙发上挺直身板坐下。

        “铁丫头电话里跟我说了芯片项目的事，我就托人寻找，还好，三位老师退休后一直住在燕京，就约了今天一起上你这来。”

        “三位老师都是从事芯片研究工作？”李云野心中一喜。

        陆弘伟好奇地打量着李云野，这就是开发出野火指令集和操作系统的年轻科学家？听李云野一问，摇摇头道：“芯片那玩意我们不太懂，以前倒是搞过半导体设备，老黄说野火科技公司有意涉足这个领域，我们三个退体多年的老不死就过来看看。”

        “您三位以前是……”李云野上身前倾，隐隐猜到了什么。

        邱飞捷道：“退休前，我和老胡、老陆都在45所工作，老胡退得早，有七年了吧。”

        胡博实点点头，看了看李云野道：“小李，搞半导体设备，如果只是嘴上说说，那就算了，我看你这家公司，真想搞，难！”

        “45所！分步投影！三位老师是当年的研发者！”李云野终于站了起来，热切地道：“今年四月中，我在华巍公司总部见到回国的滕中浩博士，他和我谈及国内在半导体制造设备的研发往事，提到过国产光刻机的研发历史，说当时45所的总工程师冯老在研发成功样机后不久就去世了，后来，因为种种原因，研发团队也解散了，殊为可惜。没想到今天能见到三位老师，小子我真是太荣幸了！”

        “坐下说，咋咋呼呼地像什么样子！”黄昶一声喝斥，李云野这才从兴奋中略为清醒过来，坐下后仍道：“半导体设备的研发人员太少了，一时兴奋，哈！”

        “咦！你还乐出声来！”黄昶稀奇地看了眼李云野。

        胡博实叹道：“小李，心情可以理解。可你知道研发一台光刻机，所需要的人力物力财力有多少吗？我先假定这些你都可以解决，那么，有三大技术难点需要突破：一是工作台，精度的要求，以国内的机电水平，根本难以达成；二是镜片，技术要求非同一般；三是光源，你大概也知道，八十年代初国产的分步投影样机，注意，这是样机！采用的是436纳米G线光源，而国际水平是193纳米ArF光源，至今未能突破，国外有资料显示，157纳米的ArF光源有望突破，可依我看，157纳米光源后续发展有限，意义不大。”

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