“KBBF晶体？”苏远山笑着问了一句。

        赵凯东微微一怔，有点惊讶地望着苏远山。

        他没料到苏远山竟然对激光领域了解得这么深。

        赵凯东沉默了几秒后，笑道：“是的。它虽然现在被运用在……强激光上面。但只要有需求，把它用在光刻机上面，也是有办法的。”

        苏远山点了点头。他知道KBBF也就是氟代硼铍酸钾晶体，才合成出来两年，这玩意就是典型的运气搞出来的——掐了老美十五年的脖子。

        由于它的出现，导致了国内激光武器大步向前，到后来意识到它是激光武器的关键节点后禁止出口。

        赵凯东继续道：“但光刻机可不是靠一个光源就能带起来的，后续的镜头模组才是关键。而且光源上去了，所有部件的精密度也得跟着升级才行……设计难度也呈几何上升。”

        苏远山笑道：“所以才暂时不考虑深紫外嘛，先走紫外i线，如果能完成0.5纳米制程，良率又能接受的话，那就完全可以投入到市场中去，还可以用很久。然后再跳过KrF，直奔ArF193线——这是不是就能追上了？最起码也不会像现在这样绝望。”

        “至于设计难度，最迟年底，我们的机械CAD就会上线，到时候设计方面就要容易一些了。”

        听到苏远山说到机械CAD，众人眼睛便是一亮：“能仿真吗？”

        苏远山哭笑不得：“……几位叔，我们是电科的底子，物电方面一直有技术储备。再加上现在的制程下，隧穿效应还不明显，所以才能完成芯片的仿真功能。但机械方面……”

  The content is not finished, continue reading on the next page