由于铜在二氧化硅中扩散系数很大,同时粘附性也很弱,因此在铜互连导线外面必须要有一层阻挡层来阻挡其扩散。而为了更好地镀铜,还需要先在制程电路上生成一层薄薄的Cu籽晶层……
而生成Cu籽晶层的方法,又有物理气相沉淀和化学气相沉淀以及原子层淀积之分。
当生成铜籽晶层后,便可进行电镀,最后抛光完成互联。
而目前,陈建国便在恶补相关知识,同时全国乱窜,到处拜访相关领域的专家。
作为师弟和课题提出者,苏远山只能从金钱上支持他……
……
父子俩在办公楼下分开,苏星河很忙,他要做16位单片机的最后技术总结,还要帮儿子赚钱。
而苏远山也忙,要忙着做实验。
如今远芯的各个实验室已经被安排得满满的。
因为除了科技园这边要做实验之外,电科,省大和理工等学校也纷纷提出各种实验申请。
这些学校当然都有实验室,但无论从设备的先进程度还是齐备程度,才刚刚建立的远芯科技园都有着无与伦比的优势。
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