面对苏远山带着期许的眼神，林本坚有点不好意思起来。

        回国之后，他便和之前一直远程联络的赵凯东团队一头扎进了193nmArF光源的研发中。现在正是小有成就，看到曙光的时候……

        坦白说，他还真没空去考虑193nm之后的事。而且长期呆在硅谷，他对灯塔国的技术实力和技术远见是再了解不过了。

        既然灯塔国那边都已经瞄准了EUV，显然，这意味着必定是个方向，起码也是之一。

        不过……既然苏远山问的是“妙招”，而不是下一代光源的方向……

        那林本坚倒还真有点想法。

        “妙招谈不上，只是在很早之前有点不成熟的想法。”林本坚有些腼腆地笑道。

        苏远山眼睛亮了起来：“林叔您说。”

        “我在几年前发过一篇论文，当时就想过，如果无法从光源上缩短波长，那么可以考虑其他物理手段来实现。譬如在镜头与曝光区域中间加上一层水，这样就能把波长降下来了。”

        说着林本坚便简单介绍了一下自己的思路。

        听完林本坚的介绍，这边苏远山还没说什么，赵凯东和梁梦松便齐齐一楞——他俩人都是和光刻机老打交道的工程师，立刻便意识到这想法有点过于异想天开了。

  The content is not finished, continue reading on the next page