想了想后,觉得自己还可以给郑振川打一下气。
“郑叔,然后光源部分……相信我,马上我们就能搞定Arf光源。而且我们也有了突破193nm的方案。”
听到这里,郑振川倏然一惊!
他是搞光刻机的,当然知道193nm现在成了一个被行业内集体头疼的问题——要知道,光源的技术一直都领先于光刻机整机本身的技术。而光源的理论,更是早在光源造出来之前的数年、数十年就奠定了下来。
但真当实现了193nm的Arf光源,开始研究下一代光源后,大家才发现这难度不是一般的大。
——都逼得灯塔国那边搞EUV联盟,直接跳过152,走极紫外路线了,你说难度大不大?
苏远山现在告诉他,有突破193nm的方案!
那岂不是……
“你说的是真的?”郑振川盯着苏远山:“你别骗我,我认识一大帮搞光源的——我回头就问老赵去。”
苏远山哭笑不得:“你问他也没用,保密的。”
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