“哦？意思是，现在就能量产了？”苏远山转身看着庞克明，很有几分迟疑——他一直关注着这边团队的进度，是以对光刻机参数了如指掌，压根不需要庞克明介绍。

        他最看重的，还是何时能够量产。

        原型机和量产机，那真的是有区别的。

        “在设计之初，我们就考虑到了量产的问题。”庞克明笑着答道：“当然，现在就说能接订单量产那肯定有些吹牛皮，不过让这台原型机进厂跑起来，然后提供维护的方案，我们肯定是有的。”

        苏远山又转头看着林本坚等人，只见这老几位虽然带着口罩，但也都眼角含笑，心中便知道庞克明所言非虚，当下便哈哈一笑，喜上眉梢。

        “不错，不错！走，我看一眼测试。”

        “好的，而且为了测试，我们还发明了一种专门用于光刻机测试的掩膜版和工序，它包括了套刻测试图形和参数计算公式。”

        庞克明示意下属开始演示。

        “山总，传统的测试分辨率和焦距的方法是制作光刻线宽测试版，即在光刻版的各个区域上都均匀放置一组线宽测试图形，在圆片上曝光后用扫描电镜测试该图形的线宽数据，然后再来评价光刻机镜头各区域的分辨率和最佳焦距。我们这个算是一步到位，简单方便，啪的一闪，就能直接得出光刻机的参数了。”

        “嗯，不错！”苏远山再次点头。

        ……

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