光刻机联合研究中心。

        苏远山是被郑振川一个期期艾艾的电话直接给叫到这边来的——在电话中，郑振川只是说光源小组和硅谷的林本坚团队出现了摩擦。

        当时把苏远山吓得够呛，下楼抢了一辆自行车就往光源实验室赶去。

        不过当听到所谓的摩擦后，他微微松了口气。

        ……

        “意思是林本坚那边说，根据他的技术直觉，KBBF晶体无法用在DUV光刻机上？”苏远山望向赵凯东问道。

        赵凯东正在一根一根地抽着烟，点了点头：“是的，但国外已经出现了倍频技术……我们这边也有所突破了。”

        苏远山抿了抿嘴，深深地皱起了眉。

        “老林那边就一个直觉吗？”

        “不是……是目前已有的光源来看，KBBF晶体不足以满足光刻机的持续、大功率激光输出。”赵凯东望向苏远山：“但我们相信……大功率肯定是能的。”

        苏远山轻轻叹了口气：“我当然也相信……”

        苏远山知道，后世KBBF是一直没有用在光刻机上的——或者说，加个主流。当初他让赵凯东搞KBBF，也是怀着侥幸，希望能够从KBBF上完成突破，从而一举打破193纳米的桎梏，再加上浸润式，到时候就能很轻易地靠着DUV就下探到5nm制程之下。

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