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第436章 光刻机投入生产 (5 / 8)

        华为,深圳总部。

        一栋没有挂牌的灰色建筑,从外面看,和普通写字楼没什么区别。

        门口没有华为的标识,安保却严密得如同铁桶,进出需要人脸识别、虹膜验证和动态密码,三重认证。

        建筑地下三层,是一间代号"昆仑"的秘密实验室。

        实验室面积不大,约四百平方米,干净得近乎无菌。

        恒温恒湿控制系统将温度精确维持在22±0.1℃,空气中的微粒数被控制在每立方米不超过100个。

        实验室中央,一台银灰色的庞然大物静静矗立。

        ASML最新一代极紫外光刻机,EUV。

        这是江北在一个月前向龙国交付的第一台光刻机,经过拆卸、运输、重新组装和无数次调试后,它终于在这间地下实验室里运转了起来。

        光刻机周围,十几名工程师围在一排监控屏幕前,屏幕上跳动着密密麻麻的数据流,曝光能量、晶圆对准精度、光刻胶厚度、数值孔径、焦深参数……

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