“我们手上的配方，浸没式良率可以做到九十二以上。”

        “但EUV的问题，你们还没解决。”

        会议室里的几个人都看向陈平放。

        EUV极紫外光刻，是最先进制程绕不过去的一道坎。宋岳把文件合上，两只手压在封面上，等着他给一个解释。

        ---

        陈平放没着急。

        他把公文包侧兜拉开，取出一个密封的U盘，搁在桌上往宋岳面前推过去。

        “这是国内最新一批EUV光源测试数据，还没有公开发布。”

        “你看完，再来跟我谈浸没式的问题。”

        宋岳没马上接，先打量了U盘一眼，再抬头看陈平放，两秒后把U盘捏在手里，转头递给那个女研究员。

        女研究员插进笔记本，页面弹出来，是一组密密麻麻的参数图表，有峰值曲线，波长校准，稳定性测试，另外还有一份完整的阶段报告。

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