因为单晶硅棒成型之后单晶炉里的温度肯定不能退得太快,不然很容易导致单晶硅棒碎裂前功尽弃,所以必须在退火时让它慢慢冷却消除应力。
但这一步骤也没有到陈望的说特别重要那种程度吧,毕竟只要控制好降温的速度不让它碎裂不就好了?
当时所有研究员包括伍开德在内都是这么想的。
可当陈望却告诉他们,退火的目的不仅仅是防止单晶硅棒碎裂。
它还可以帮助单晶硅重塑原子内部的“秩序”。
“退火不当很容易出现微缺陷,这种缺陷从单晶硅棒的表面完全看不出来,但在后续的高温工艺中就会演化成为器件的致命缺陷,所以我们在退火时就得保证不会让这些微缺陷出现。
再有一个就是我们可以在退火时设定特定的温度台阶,然后让氧在晶体内部分散的沉淀,形成氧析出物,这些析出物会在后续的工艺中将金属杂质吸引并锁死,从而保护表面器件活跃区的完美与洁净。”
这两种说法伍开德他们几乎都闻所未闻,虽然他们真的十分相信陈望,但陈望自己都说了,这些“致命缺陷”只有在单晶硅后续的工艺中才会体现出来,可陈望这不才把单晶硅棒拉制出来吗?
那他怎么现在就知道了?这,这不可能也是计算的吧?
陈望听了平静地说道:“因为我拉制出来的第一根单晶硅棒退火出来时看不出任何问题,但是当我切割一小块下来放进高温氧化炉中,一个小时后就这块单晶硅表面就变得斑浑浊,布满了肉眼可见的瑕疵。”
“等等。”伍开德不确定的问道:“陈所长,你,那你的意思是现在办公室那根单晶硅不是你拉制出来的第一根?”
其他人也反应过来,所以陈望在短短四天里难道还拉制出了两根单晶硅棒?
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