“砰!”罗朝斌忍不住拍了下桌子,想骂一个马勒戈壁的。
但脸上怒容一闪而逝,最终化为沉重的叹息。
“所以,”孟良凡双手撑在桌面上,语气充满了不甘却又无比坚定,“我们只能,也必须,在现有的DUV光刻机上,进行极限操作,走一条无比艰难、但充满智慧的‘迂回之路’!这就是N+1、N+2!”
他开始深入解释N+1工艺的本质和巨大挑战:
“N+1,本质上是在我们14nmFi工艺平台上,通过一系列登峰造极的‘技术魔术’去无限逼近更高制程的性能。当然这里面的核心就是多重曝光。”
他用了一个形象的比喻:
“这就好比,别人开着装备了顶级GPS和引擎的越野车(EUV)在平坦大道上飞驰。
而我们,被没收了关键装备,只能开着一辆性能不错的家用轿车(DUV)。
但我们凭借对地图的极致研究(物理和工艺理解)和超凡的驾驶技术(多重曝光等复杂工艺),硬是要在一条布满巨石和深坑的崎岖山路上,蹚出一条能到达目的地的通道。”
“代价是什么?”孟良凡自问自答,语气沉重。
“代价是工艺步骤复杂度成倍增加,生产周期大幅拉长,初始良率惨不忍睹,以及单个芯片成本的急剧飙升!
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