陈默语气转为铿锵:
“OPC(光学临近校正)确实是N+1多重曝光下的噩梦。
传统方法耗时数周,且精度难以保证。”
他切换到一个极具视觉冲击力的界面:
一边是传统OPC校正后依然存在毛刺和畸形的图形,另一边则是光滑完美、如同艺术品的修正结果。
“钟耀祖团队,基于其强大的AI算法底蕴,开发了‘女娲’AI-OPC系统。
基于自研异构计算架构和新算法,在处理N+1复杂度版图时,计算效率已达国际主流工具95%,且在特定图形补偿精度上有5-10%优势。
自研工具与自研PDK的深度定制优势,是外购工具无法比拟的。
另外它采用深度强化学习与生成对抗网络(GAN)结合的方式,不再是机械地遵循规则,而是‘理解’光刻机的成像物理过程,直接生成最优的校正图形。”
陈默展示了一组震撼的数据:
“在BalOng5000的某个关键层,采用‘女娲’系统,将OPC计算时间从传统的14天缩短到1时,同时校正精度提升40%,有效预测并规避了3处潜在的光刻热点。
The content is not finished, continue reading on the next page