得放进区熔炉里,高频线圈加热,熔区一寸一寸往下走,杂质赶到尾部,头部才能达到九个九。
区熔炉一台多少钱?光这一台,顶咱们厂十年的利润。”
王福荣听完,手中的筷子也搁下了。
“区熔之后是拉晶棒。温度要控制在一千度上下,偏差不能超过正负两度。
差一点,单晶变多晶,整根棒废了。切出来的晶片,测晶向,测电阻率,合格的才能用。
不合格的,回炉重来。
晶片切好了,一面放铟球,一面放锑球,推进扩散炉,八百五十度,氩气保护。
扩散深度要控制在微米级,深了浅了都不行。
扩散完还要光刻,涂光刻胶,紫外曝光,腐蚀出图形。”
“光刻完了是焊接。金丝球焊机,把比头发丝还细的金丝一头烧成球,压在晶粒的基极上。
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