极端光学测试实验室的事故,在整个光刻厂项目组只是一件不起眼的小事。
随着江野提供的数据被吴峰主任提报上去。
整个基础光学部的相关研究,都根据相关数据开始进行新一轮的实验。
这份数据所关联到的。
是光刻厂工程中一个经常用到的传感件的设计方案。
虽然不算是举足轻重的突破,但起码也能节约大量的人员配置,省略掉繁复的验证流程,直接开始新器件的投产中。
这样的一个好消息,自然是让许多人都为之振奋。
不过纵观全局,这依旧只能算是一件小事。
迄今为止,关于EUV透镜组的组装工艺和理论方面依旧没有突破……这核心部件的研究进度停滞不前,其余的事情都只是小事而已。
很快就被大家遗忘。
包括极端光学测试实验室数据办公室的人,也从未问起江野为何会知道那些就是需要用到的数据。
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