他几乎贴在了晶棒上。眼睛在那道细微的裂纹上反复看来看去。
“6英寸碳化硅单晶”周德明喃喃自语,声音都在发颤,“这长晶的纹路这透光度”
他猛地抬起头,那双原本浑浊的眼睛里,爆发耀眼的光芒。
“微管缺陷率多少?!”他几乎是吼出来的。
“小于0.1个/平方厘米。”陈启双手插在兜里,语气平淡,“国家级半导体材料检测中心出的报告。设备是华科改造的国产外延炉。”
“不可能!”周德明,“国内的设备怎么可能长出这种品质的晶棒?!哪怕是日本那几家巨头,用最顶级的进口炉子,商用标准也只能卡在小于1!你这是在哪个实验室里烧了几百次才碰巧烧出来的一个残次品吧?!”
“不是碰巧。”
陈启看着他,“这是我们一期量产线上,几个炉子同时开,长出来的第一批货。”
周德明愣住了。
他低下头,再次看向手里那根晶棒。粗糙的手指抚摸着晶棒中间那道裂纹。
“切片进给速度快了至少百分之五。张力控制不稳。”周德明干巴巴地说,一针见血,“热场在生长中段,氩气流量有极微小的波动,导致热应力没释放干净。所以裂了。”
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