“是华科精密的旧型号改造的。”陶安然如实回答。

        “华科的旧设备？”王研究员愣住了，“那玩意儿的温场均匀性极差，你们用它来长碳化硅晶圆？”

        陶安然没等他继续说，直接怼了回去。

        “王老。设备是死的，人是活的。”

        她走到控制台前，调出一张温度场分布云图。

        “您看看这个。这是我们改造后的热场实测数据。”

        王研究员凑近屏幕。

        “径向温度梯度。正负0.3度？！”

        他摘下防静电帽，用力揉了揉眼睛。

        “这不可能！莱茵科技的最新型号也做不到这个精度！”

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