咔哒。
配电箱的金属盖板被悄无声息地卸下,露出了后方直通无尘车间的通风管道百叶窗。
那双戴着脏污劳保手套的手从口袋里摸出一个极小的压缩气罐,针头精准地扎进百叶窗的缝隙中。
嗤——!
一缕肉眼不可见的微量凝固气体,顺着管道内壁,无声无息地飘向了光刻机核心车间。
车间内,刺目的白光照亮了整个操作台。
高纯度的金黄色极紫外光刻胶原液,顺着高压微管,稳稳悬停在八英寸晶圆的正中心。
“滴胶。”
程美丽清冷的声音在车间内响起。
一滴粘稠的原液精准滴落。
“启动旋涂。”
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