而且要求实现双工件台——目前这是ASML的绝活。

        简略来说，光刻机核心部件主要涉及光源、镜头、工件台。

        这些核心部件，国产领域都比较落后。

        不过都在突破中，去年的重点是光源和镜头，通过对海外相关企业技术的海量收购、转化、掌控，在DUV领域有了长足进步。

        其中光源这方面，美利坚有个叫Cymer的公司很厉害。

        号称是EUV光源中全球唯二生产厂商。

        这两天业内有一桩沸沸扬扬的收购案：ASML欲以约20亿欧元的价格收购Cymer。

        嗯……

        早在去年年底，旗下的几个华尔街投资公司辗转通过各类渠道拿下了Cymer的部分核心技术。

        收购？

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