最后一个制备方法。

        微波等离子体CVD法，也就是MPCVD法。

        是四十三所所采用的的方法。

        也是陈舟查这么文献的目的。

        和DAPCVD法被报道的时间，仅相隔一年。

        这也是目前用于沉积金刚石薄膜最为广泛的方法。

        这种方法最先是通过一种轴向的线耦合器，将2~5W的矩形微波进行导转换，在大气压下形成等离子体。

        而高压等离子体就会由耦合器的“针孔”处喷射到水冷的样品台上，继而形成金刚石薄膜。

        和DAPCVD法使用的气源相同，主要是氩气，反应气体是甲烷和氢气。

        现如今，这种方法已经形成了多种形式。

        不过不管是按真空室的形成来分的石英管式、石英钟罩式和带有微波窗的金属腔体式，还是按微波与等离子体的耦合方式来分的表面波耦合式、直接耦合式和线耦合式。

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