这是重点。

        放下笔，陈舟滑动鼠标，继续看文献的内容。

        MPCVD法之所以会成为最广泛的方法，是因为这种方法比DAPCVD法制备的金刚石薄膜质量更好。

        很好的解决了膜的致密度不高的问题同时，还可以产生大体积的金刚石薄膜。

        此外，这种方法还能在曲面或者复杂表面上进行金刚石薄膜的沉积。

        而且MPCVD法无内部电极，可以避免电极放电污染和电极腐蚀。

        可以是满足了制备高质量金刚石薄膜的条件。

        但是，就像四十三所实验室的装置一样，MPCVD法的沉积速率是硬伤。

        看完了这篇详细介绍MPCVD法的文献后，陈舟不禁想到。

        “如果有DAPCVD法一半的速度，再加上MPCVD法的制备质量，那这事不就成了吗？”

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