因为林本健的这个想法太过简单或者说太过理想化,而且等于否定了其它巨头正在走的技术路线,遭到了各大半导体巨头的集体拒绝,而且一度给台积电施压制止林本健到处乱窜搅局。
当时在光刻机领域市场份额较小的荷兰厂家阿斯麦知道这个事情后,决定赌一把,因为这时候在市场里本来也无法和尼康等巨头竞争,他们押注沉浸式技术有可能实现以小博大。
于是林本健和阿斯麦双方一拍即合,双方合作仅用一年多的时间,也就是在2004年,阿斯麦就做出了第一台样机。
而林本健随后又说服了台积电使用这个方案,并完成了产品生产,让台积电在芯片制程技术上一举追上了之前遥遥领先的巨头英特尔。
台积电成功批量生产证明了浸入式技术的工艺可能性,而且浸入式属于小改进大效果,产品成熟度非常高,随后英特尔、IBM等公司纷纷决定跟进,购买阿斯麦的光刻机。
而尼康虽然随后也宣布自己的157nm产品样机完成,但是因为整个的技术并不是非常成熟,良品率还无法保证,没有人愿意购买它的产品。
随后,发现市场风向不对,尼康被迫将之前的研发成果浪费,开始做浸入式光刻机。
但此时,尼康却是已经落后于市场了,正所谓一步落后步步落后,尼康至此开始被阿斯麦甩开。
而阿斯麦与台积电也借此机会,开始得到迅猛发展,最后双双成为了行业巨头。
后来阿斯麦继续成长,也进入了EUV光科领域。
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