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第619章 下一代光源的抉择 (6 / 8)

        ……

        “林叔,赵叔。”

        苏远山见两人同时站在门口,连忙上前握手,梁梦松也上前打了招呼。

        见到跟在苏远山身后的梁梦松,林本坚倒没什么,赵凯东则是微怔了一下——此时张汝金不在,按照规矩,负责接待陪同苏远山的显然应该是德远的二把手来……

        按照职位算,梁梦松只能排到德远的第五。

        这架势,看来苏远山是真铁了心的要全力推制程突破了。

        在接待室落座后,苏远山简单问了一下目前的进度——在光源领域,因为林本坚的加入,赵凯东团队进展得很快,他们即将完成193nm的准分子激光光源技术。

        虽然比起国外同行落后了差不多一年多,但好歹算是追上了。而且就现有的技术和理论来看,193nm将会成为很长一段时间内都无法突破的光源。否则灯塔国那边也不会成立EUV联盟,找寻新的出路了。

        当然,对于如何跨越193nm,除了EUV之外,也有其他的方案。譬如尼康和SVG就在准备攻克157nm的HeF2激光,以及电子束投射(EPL),离子投射(IPL)、甚至X光等等……

        总之,就是解决的办法一箩筐,放眼望去全是路。

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