但具体哪一条是真正的正道，谁也不知道。

        嗯，只有苏远山一个人知道。

        因为这些方案，都败给了眼前这个乐呵呵的老爷子。

        “林叔，赵叔，193nm之后你们的想法是什么？”坐到沙发上，苏远山端起茶杯抿了一口。

        赵凯东和林本坚对视了一眼，随后笑着道：“193nm看样子都要停留很久，你这么着急？”

        “我本来是不着急的。”苏远山很坦白：“主要是老美那边搞EUV，搞得我有点心慌。”

        赵凯东便笑着摇了摇头：“虽然说光源要比光刻机领先很多，但193nm的光源现在都尚未用在光刻机上，你心慌也没用。”

        “至于说下一代光源，其实我和老林并不十分看好157nm，因为HeF2激光可以说要完全推翻现有的光路系统，非但物镜要重新搞，光刻胶也要重新研制……最主要的是，波长步进提升不大，且投入产出比太高了。”

        “EUV，听起来很不错，有点下一代光源的意思。但你看EUV联盟那架势……就不是我们这个小作坊能够完成的。”

        苏远山便笑道：“有您二位在，咱们这实验室可不是小作坊。”

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