一走进去,一股更复杂的气味扑面而来。化学试剂、臭氧、还有金属烧灼后的焦味。
陈启明、张卫东都在,还有上海本地的刘工,几个人围在一台老旧的光刻机前,脸色都很难看。
“赵总工。”陈启明看见他,嗓子哑得厉害。
“具体什么情况?”赵四没废话,直接走到工作台前。
台上摊着几片晶圆,在日光灯下泛着诡异的彩色光泽。
他拿起一片对着光看。
上面刻蚀的电路图案模糊不清,有的地方线条断了,有的地方粘连在一起,像小孩子拙劣的涂鸦。
“这是第一炉?”赵四问。
“第三炉了。”刘工苦着脸,“第一炉全军覆没,第二炉好点,有3%能用。这炉……最多5%。”
“问题出在哪?”
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