“不知道。”陈启明抓了抓头发,头发上沾着不知名的化学粉末,
“光刻胶不均匀?曝光时间不对?显影液浓度有问题?都有可能。我们挨个试,试了三天,还是这样。”
赵四放下晶圆,走到光刻机前。
这台机器是六十年代初从东德进口的,原本用于生产简单的晶体管。
控制面板上的德文标签已经磨损,几个旋钮的刻度都模糊了。
“机器校准过吗?”
“校准了三次。”张卫东说,“我和刘工亲自调的。光学系统我们也拆开清洁过,镜片没问题。”
“光刻胶呢?”
“按配方配的。”林雪接口,“我们试了三种配方,这种效果最好,但也……”
赵四沉默了一会儿,环视车间。
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