“接触电阻,1.2欧姆,合格。”
“1.5欧姆,合格。”
“0.8欧姆,合格。”
“3.6欧姆……偏高。”
“1.1欧姆,合格。”
五片里有四片合格。
“可以接受。”赵四点头,“继续。”
上午十一点,所有晶圆完成金属化。二十片里,有十六片通过了快检。
“划片。”
划片机是把整片晶圆切割成一个个小方片,每个小方片,就是一个管芯。这台设备精度要求更高,刀片转速、进给速度、冷却液流量,每一个参数都要精确控制。
一片晶圆上有上百个管芯。一刀切偏,可能废掉好几个。
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