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第311章 第一片亮起的硅 (7 / 18)

        “真空度达标。”

        “铝丝纯度检测通过。”

        “基片温度稳定。”

        “可以开始。”

        铝丝在高温下蒸发,在真空环境中沉积到硅片表面,形成一层极薄的金属膜。然后,通过光刻和蚀刻,把这层膜刻成需要的连线图案。

        这个过程,对温度和真空度的控制要求极高。温度差几度,真空度差一点,铝膜的附着性就会出问题,导致连线断裂或短路。

        机器开始运转。透过观察窗,可以看见铝丝在高温下慢慢熔化、蒸发,在硅片表面凝结成一层银白色的薄膜。

        很美,像星空。

        一个小时后,第一批五片晶圆完成金属化。

        “快检。”陈启明急声道。

        检验员小吴拿着探针台,在每片晶圆的测试结构上测量接触电阻。数据一个个报出来:

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