要理解光刻机(尤其是现在最顶级的EUV极紫外光刻机)为什么被称为“外星科技”,它不是一个传统意义上的机器,这个概念就是错误。
这玩意儿根本不是传统意义上的流水线产品,它更像是把人类目前掌握的最顶尖的物理、化学、光学、材料学,全部强行揉捏在一起,塞进一个集装箱大小的金属圆球里。
光刻机的作用,用一句话总结就是:在比头发丝还细几万倍的硅片上,画出拥有上百亿个晶体管的“超级城市地图”。
你可以把它想象成一台极其变态的“幻灯机”。
幻灯片就是设计好的图纸,底片就是涂了感光液的硅片(晶圆)。光照过去,图纸上的电路就印在了硅片上。
听起来是不是很简单?但如果你要把几十亿条线塞进一个指甲盖大小的芯片里,这束“光”的要求就离谱到了反人类的程度。
这里面最牛逼的两个核心技术,简直就是在挑战物理学的极限。
极紫外光(EUV)的波长极短,只有13.5纳米。这种光极度娇贵,自然界根本不存在,甚至连空气都能把它瞬间吸收。
所以,整个机器内部必须是绝对真空。
那这种光是怎么造出来的?
The content is not finished, continue reading on the next page