ASML（阿斯麦）的做法是：在真空中，每秒钟滴下5万滴比头发丝还细的液态金属锡（锡滴）。然后，用一台功率大到能切钢板的高能二氧化碳激光器，去轰击这些下落的锡滴。

        最离谱的是，还得连开两枪：第一枪（预脉冲），把圆形的锡滴打扁；第二枪（主脉冲），瞬间把它轰成等离子体，这瞬间才会爆发出那一抹极紫外光。

        是不是听不懂？没关系，我给你解释一下。

        这操作，相当于你在高速公路上开着跑车，用狙击步枪连续两次命中一英里外同一只正在飞行的蚊子的左翅膀。

        你是不是觉得好像也没有那么的难，对吧？

        但是如果要命中的次数是每秒钟要打中5万次，连续工作几个月不能失误呢？

        那么请问阁下又该如何应对呢？

        就算到了这一步，你真的把这个光造出来了。那也仅仅只是开始，你还得把它反射、聚焦到硅片上。既然连空气都会吸收EUV光，普通的玻璃透镜当然也会。

        所以只能用一层层镀膜的反射镜。

        有人会问了，不就是一面镜子吗？那我分分钟不造个百八十个？

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