“能量300毫焦,时间8秒。”张卫东看着刚改造完的控制面板,“紫外灯管是新换的,强度波动在正负5%以内。”
“开始。”
紫外灯亮了,发出幽幽的紫光。八秒钟,很短。但在场所有人,都觉得这八秒钟,像一个世纪那么长。
曝光完成。晶圆被送入显影槽。
显影液是弱碱性的,会溶解未被紫外线照射的那部分胶膜,露出下面的硅。这个过程,就像洗照片,曝光的地方硬化保留,没曝光的地方溶解消失。
一分钟,轻轻摇晃。
陈启明取出晶圆,用去离子水冲洗,然后吹干。
他再次把晶圆放到显微镜下。
所有人都围了过来,屏住呼吸。
视野里,出现了图案。
歪歪扭扭的线条,边缘不齐,有的地方宽,有的地方窄,土胶的粗糙一览无余。但是,线条是连续的!没有断线,没有短路,关键的晶体管区域、连线区域,都清晰可见。
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