“成了。”陈启明直起身,声音有点抖,“第一道光刻,成了。”
车间里响起一片压抑的欢呼声。但很快又安静下来,大家都明白,这只是一小步。
后面还有几十步。
蚀刻、扩散、离子注入、金属化、钝化、划片、封装、测试……每一步,都像走钢丝。
赵四下令:“按计划,二十片晶圆,全部走一遍流程。不要急,一步一个脚印。”
车间里再次忙碌起来。每个人都知道自己的岗位,都知道该做什么。三个月的高强度磨合,让这支临时组建的队伍,有了惊人的默契。
时间在流逝。
窗外的天,从漆黑转为深蓝,又透出鱼肚白。上海醒了,城市的喧嚣从远处传来。但车间里的人,仿佛置身另一个世界,一个只有硅片、光刻胶、化学试剂和机器嗡鸣的世界。
上午十点,二十片晶圆全部完成了前道工序。它们躺在净化柜里,表面已经布满了复杂的电路图案,只是还看不出是芯片,要等金属化完成后,铝线把各个晶体管连接起来,才能形成完整的电路。
“金属化准备。”陈启明声音沙哑,他已经连续工作了十八个小时。
真空蒸镀机是老设备,故障率高。张卫东带着两个人,已经提前检修了三遍。
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